Для работы элегазовых систем и их обслуживания используется сервисное оборудование. Оно представлено системами откачки воздуха и элегаза, газовыми фильтрами, системами заполнения и портативными весами для элегазовых баллонов.
Оборудование отличается компактным исполнением и высокой производительностью. Оно не чувствительно к вибрациям и не издаёт шумов, при правильной эксплуатации оно не перегревается и не выходит из строя. Контроль и регулировка параметров осуществляется с помощью манометров, термометров и регуляторов давления.